MEMS微型皮拉尼真空傳感器具有更高的精度、可重復性和更低功耗。
傳統的皮拉尼真空傳感器使用熱線(xiàn)或熱敏電阻，通過(guò)監測熱線(xiàn)或熱敏電阻在真空環(huán)境中的熱傳遞來(lái)測量真空。POSIFA通過(guò)將皮拉尼傳感器的所有部件微加工成單一的集成微結構，徹底改變了使用熱導率測量真空壓力的方式。由此產(chǎn)生的微型皮拉尼真空傳感器具有更高精度、可重復性、測量范圍和更低功耗，允許工程師設計出比以往設備大大縮小的真空測量產(chǎn)品和應用。POSIFA的傳感器采用**的CMOS半導體工藝，具有卓越的性能和可擴展性，在確保高品質(zhì)的同時(shí)，實(shí)現了較低的生產(chǎn)成本。
傳統的皮拉尼真空傳感器使用熱線(xiàn)或熱敏電阻，通過(guò)監測熱線(xiàn)或熱敏電阻在真空環(huán)境中的熱傳遞來(lái)測量真空。POSIFA通過(guò)將皮拉尼傳感器的所有部件微加工成單一的集成微結構，徹底改變了使用熱導率測量真空壓力的方式。由此產(chǎn)生的微型皮拉尼真空傳感器具有更高精度、可重復性、測量范圍和更低功耗，允許工程師設計出比以往設備大大縮小的真空測量產(chǎn)品和應用。POSIFA的傳感器采用**的CMOS半導體工藝，具有卓越的性能和可擴展性，在確保高品質(zhì)的同時(shí)，實(shí)現了較低的生產(chǎn)成本。
